目前，我國正在大力發展海洋資源勘探裝備、大型艦艇、風電、核電、高速機車、航空航天、軍工和大型工程機械等新興產業。這些行業的快速發展對大型精密齒輪加工機床提出了迫切的市場需求。

圖1所示為一款大型齒輪傳動裝置，大型齒輪位于動力傳動關鍵環節，其加工需要大型數控齒輪加工機床。而數控轉臺作為大型精密數控齒輪加工機床核心功能部件，起到承載工件、分度及傳遞精度的作用，要求轉速范圍寬、響應速度快、承載大及剛性高。工作臺參與聯動加工，要求定位精度及重復定位精度高、響應快且運行平穩，其性能直接影響整機性能。數控轉臺的研制是開發大型齒輪加工機床的關鍵。

圖1 大型齒輪傳動裝置

1.轉臺驅動技術

大型齒輪加工機床回轉工作臺主要功能是承載工件并帶動工件實現與刀具的相對運動。根據加工方式的不同，轉臺的運動不同。例如大型內齒輪銑齒機利用成形銑刀加工大型內齒，轉臺主要用于承載工件及分度。大型數控滾齒機則要求轉臺與刀具在電子齒輪箱的匹配下構成內聯系傳動鏈，實現連續運轉。大型數控成形磨齒機則要求轉臺在加工斜齒輪時能夠跟隨砂輪在一定角度范圍內往復運動。通過對大型齒輪加工工藝分析，大型齒輪加工機床轉臺需要實現任意角度分度，為避免傳動鏈加工誤差對工件精度的影響，需要對轉臺進行全閉環控制。大型齒輪自身質量大、慣量高，加工過程中需要的驅動轉矩大，轉臺的驅動需要兼顧動力傳遞及精度傳遞。

（1）蝸輪蝸桿傳動，蝸桿齒廓為連續螺旋面，嚙合過程連續平穩、重合度高、沖擊小及噪聲低，是一種廣泛應用的精密傳動機構。回轉工作臺要進行正向和反向的傳動和定位，傳動系統元件之間的間隙影響其精度，對轉臺的定位精度、雙向重復定位精度、響應時間和運行平穩性等性能指標造成影響。當采用機械傳動鏈時，采用各種不同的結構，消除傳動鏈間隙非常關鍵。采用蝸輪蝸桿傳動關鍵是合理的消隙技術。為防止制造誤差，尤其是齒距誤差或者使用過程中的磨損造成過大的間隙，影響運動及精度的準確傳遞，因此分度蝸桿傳動副的傳動嚙合間隙應盡可能調整到允許的最小值，且能夠在使用過程中進行調整補償。圖2所示為蝸輪蝸桿傳動結構示意圖。

蝸輪蝸桿傳動的消隙方式，主要有單頭雙導程蝸桿消隙、液壓馬達消隙、復合蝸桿消隙、雙蝸桿傳動消隙及雙蝸輪蝸桿消隙等。

圖2 蝸輪蝸桿傳動

圖3 為雙導程蝸桿消隙原理示意圖，雙導程蝸桿的左、右兩齒面導程不等，同一側導程相等，蝸桿的齒厚從蝸桿的一端向另一端均勻的逐步增厚或減薄。當蝸桿沿其軸向移動時，即可以調整嚙合側隙，嚙合間隙可以調整的很小，實現消隙作用。通過軸向移動調整嚙合側隙，調整方便，不改變蝸輪副中心距，齒面接觸穩定，有利于保持蝸輪副接觸精度。但蝸桿齒距改變，剛度有所減弱，一般在中小型轉臺中應用較多。

液壓馬達消隙是通過對液壓馬達設置高低壓從而對蝸輪施加一個預載轉矩。一般蝸輪軸與液壓馬達輸出軸平行布置，如圖4所示是一種利用液壓馬達消隙的轉臺結構。大齒輪與蝸輪副同軸安裝，液壓馬達輸出軸齒輪與大齒輪嚙合。通過一對齒輪副嚙合傳動，在蝸輪上施加一個消隙轉矩，消隙轉矩可以通過調整液壓馬達兩腔壓力差來調整。液壓馬達消隙的關鍵是壓力差的設定，需要綜合考慮傳動鏈剛性及切削力作用，消隙轉矩大小應在蝸輪蝸桿齒面受到最大切削力作用時始終緊密可靠切合。同時需要注意液壓系統的穩定性，避免壓力波動引起消隙轉矩波動，對運動精度造成影響。

復合蝸桿由兩部分構成，如圖5所示，左側蝸桿為實心軸結構，左端有蝸桿齒，右端為光軸結構，右側蝸桿為空心軸結構，通過滑鍵聯結安裝在左側蝸桿的光軸部分，保持同軸。通過沿軸向調節空心蝸桿實現異側齒面嚙合，使蝸輪兩側齒廓在正反轉時分別與主蝸桿和從蝸桿接觸，實現傳動消隙。

與未作處理的樹脂面(圖1)相比，35%磷酸處理的樹脂面(圖2)表面結構變化不大；而打磨粗糙組和打磨粗糙+酸蝕組的樹脂可見裂隙及空洞樣改變，但兩者差別不明顯(圖3，4)。

雙蝸桿傳動消隙是利用兩個蝸桿分別實現對蝸輪的正反向傳動，蝸桿1和蝸桿2可沿軸向調整，分別與蝸輪的左右齒面接觸，從而消除正反向傳動間隙。蝸桿的布置可以正交也可以平行。采用正交布置時，兩蝸桿端部通常采用一對錐齒輪傳遞運動及精度，實現蝸桿方向調整。采用平行布置時，機械傳動鏈較長，逐漸發展為采用單獨的電動機分別驅動兩個蝸桿。

清·顧炎武《亭林詩文集》卷之四《子德李子聞余在難特走燕中告急諸友人復馳至 濟南省視于其行也作詩贈之》：“將伯呼朝士，同人召友生。”

雙蝸輪蝸桿消隙，在一個基體上加工出主副蝸輪齒廓，旋向相反。蝸桿分為主從蝸桿，旋向相反。主從蝸桿之間通過一對齒輪副傳遞運動和精度，轉向相反。電動機驅動主蝸桿與主蝸輪齒廓嚙合帶動轉臺回轉時，從蝸桿與副蝸輪相反齒廓嚙合將蝸輪牢靠“夾持”在嚙合區，從蝸桿兩端可軸向浮動，在一端有液壓缸，通過調節液壓缸壓力，調整消隙力。圖6所示為雙蝸輪蝸桿消隙示意圖。

圖3

圖4 液壓馬達消隙轉臺結構

1.蝸桿 2.蝸輪 3.大齒輪 4.小齒輪 5.液壓馬達

蝸輪蝸桿傳動的關鍵是消隙技術，不同的消隙方式性能特點及工程應用范圍不同，表1所示為蝸輪蝸桿消隙技術比較。通過比較分析，雙蝸輪蝸桿消隙傳動最適合大型精密轉臺驅動，在國外機床有所應用，但技術保密。在國內由于設計、制造難度大，很少被采用。

選取我院牙體牙髓科2014年6月—2017年6月收治的伴發牙髓炎或者根尖周炎的隱裂牙患者共計87例，其中急性牙髓炎患者17例，慢性牙髓炎患者49例，慢性根尖周炎患者21例。排除標準：無法完成治療的患者，患有全身疾病體弱的患者，牙槽骨吸收超過根長1/2。

（2）力矩電動機直接驅動技術。力矩電動機是一種可以進行大轉矩輸出的伺服電動機，其特性非常符合數控轉臺的發展需求。力矩電動機轉子與轉臺運動元件直接相連，避免了機械傳動鏈中的間隙及磨損問題，傳動鏈短，剛性高、動態性能好，可以實現更加精細的微量進給。圖7所示為采用力矩電動機直接驅動的轉臺結構示意圖。采用力矩電動機驅動，結構簡化，轉臺更加緊湊。

力矩電動機可以實現低速大轉矩，但在超低速運轉時，例如轉速n＜1r/min時，力矩電動機輸出轉矩處于不穩定狀態，不同廠家生產的力矩電動機對最低轉速都有一定限制，在應用中應該避開這一區間。圖8所示為西門子電動機給出的力矩電動機機械特性曲線圖，可以看到，轉速低于1r/min時，電動機輸出轉矩急速下降，轉矩波動較大。當轉速高于1r/min時，輸出轉矩平穩。在大多數的工程應用中，力矩電動機都面向高速高精的應用場合，對超低速的應用較少。

圖5 復合蝸桿傳動消隙原理

圖6 雙蝸輪蝸桿消隙傳動

1.驅動電動機 2.電動機安裝座 3、6.軸承 4.主蝸桿 5.蝸桿座 7.主動齒輪 8、9.螺母10.液壓缸 11.隔套 12.液壓缸座 13.從動齒輪 14、19襯套 15、18.套環 16.副蝸桿17.調整墊片

表1 蝸輪蝸桿消隙技術比較

消隙方式 結構特點 性能特點 工程應用雙導程蝸桿消隙結構緊湊，對蝸桿導程進行了特殊設計，無需增加額外的裝置可以通過調整蝸桿軸向位置對磨損量進行補償。導程調整后蝸桿齒部有所減薄，剛度有所降低適用于輕載液壓馬達消隙需要增加一套消隙力傳動機構，多采用齒輪副或同步帶傳動可以通過對液壓馬達高低壓腔壓差進行控制，調整消隙力適用于中小型設備，應用廣泛復合蝸桿消隙結構緊湊，對蝸桿導程進行了特殊設計，無需增加額外的裝置兩段蝸桿分別和蝸輪副異側齒面嚙合，分別驅動蝸輪副正反方向的運動國外應用較多，適用于輕載荷場合雙蝸桿消隙兩個蝸桿通過傳動鏈進行連接，轉化旋轉方向。常見的方式為兩蝸桿正交布置，通過一對錐齒輪傳遞運動，分別和蝸輪副異側齒面嚙合兩蝸桿傳動鏈之間的精度對消隙效果產生耦合干擾應用較多，適用于大型化、常規精度的設備雙蝸輪蝸桿消隙蝸輪為兩圈齒，螺旋角大小相等，方向相反。兩蝸桿平行布置，旋向相反加寬了蝸輪齒寬，嚙合剛度得到提高。從蝸桿浮動，消隙剛度可控國外有所應用，技術保密。國內由于技術難度大，尚未推廣

力矩電動機本質是一種機械特性較軟的伺服電動機，可以輸出大轉矩，縮短了機械傳動鏈。其運行平穩性取決于轉子對定子磁場的同步跟隨能力。一般力矩電動機采用定子開槽，轉子永磁體結構，在轉子和定子齒的邊緣將產生平均值為零的波動力矩。由于主要由定子開槽結構引起，又稱齒槽力矩波動。力矩電動機直接和負載相連，力矩波動直接傳遞至負載，將對系統速度平穩性及控制精度產生影響。尤其在輕載及低速運行狀態下，波動力矩占輸出力矩的比例增大，為了減少齒槽效應，提高力矩電動機性能，發展了斜槽力矩電動機和無槽力矩電動機。

（3）雙電動機電消隙驅動技術。雙驅技術消隙的基本原理如圖9所示，轉臺采用精密齒輪驅動，驅動單元由兩組性能相同的伺服電動機和減速機構組成。大齒圈和轉臺臺面相對固定，兩組驅動單元同時和齒圈嚙合驅動轉臺回轉。兩組驅動單元通過數控系統控制，在兩組驅動單元之間提供一個偏置力矩，驅動單元輸出端齒輪和大齒圈異面嚙合使大齒圈不能在齒輪間擺動，從而達到消除間隙，提高系統精度的目的。兩組驅動單元有主從之分，轉臺回轉時，控制系統對主驅動單元進行位置環控制，實現對轉臺角度位置的精確控制，對從動驅動單元進行速度環控制。從動單元對主驅動單元進行速度跟隨，不考慮二者之間的位置偏差，不進行位置比較，避免振蕩。在靜止狀態下，兩個驅動單元輸出大小相等、方向相反的轉矩，各自拖動的小齒輪分別與大齒圈的兩個齒輪處于異面嚙合狀態。

實現方法為當轉臺轉動時，M1力矩增大，M2力矩減小，保持一個設定的力矩差后，保持勻速。換向時，M1力矩減小，M2力矩增大，M1力矩減小至零后反向， M1 、M2方向相反，保持消隙狀態，工作臺反轉。

圖8中給出了三個典型風向下測點層L1處兩個軸向平均位移響應隨風速的變化。圖中所給風速和位移值均已按表1中相似比換算至原型，且圖中的響應值為同層左右兩個測點代數平均后的結果(下文中如無特別說明，均指按此方式處理后數據)。由圖8中可見：隨風速增大，測點位移響應基本呈拋物線趨勢逐漸增大，且風速越大，三風場下位移響應間的差距也越大；相同風速下，輸電塔在沖擊風1下產生的位移明顯高于沖擊風2下所產生的位移值，B類風場位移響應約處于兩沖擊風場之間；不同風速時，輸電塔在沖擊風場和B類風場下的位移響應變化規律基本一致。

圖7 力矩電動機直接驅動回轉工作臺

1.編碼器 2.轉子 3.定子 4.軸承 5.回轉臺 6.液壓分配器

圖8 力矩電動機極低轉速下轉矩輸出不穩定

雙電動機電消隙驅動技術的關鍵在于對電動機的伺服控制，控制邏輯及動作時序控制要始終使齒輪齒圈副處于異側齒面接觸狀態。偏置力矩的設定在滿足正反轉消隙的前提下，盡可能小，以減小電動機自身能耗。目前所述高檔數控系統都開發了相應的控制模塊，促進了這一消隙傳動方案的應用。目前在大型車銑復合類機床中應用廣泛，在磨削類機床中應用較少。

（4）轉臺驅動方案的分析比較。蝸輪蝸桿副是一種精密傳動副，發展了不同廓形的蝸輪蝸桿副滿足不同工況的需求。隨著數控機床的發展，蝸輪副的加工精度也不斷提高，蝸輪副傳遞高精度需要合理的消隙方法，到目前仍是應用最為廣泛的一種精密驅動方法，在各類精密分度裝置中得到廣泛應用。力矩電動機是隨著數控技術發展以及機床向高速高精密方向發展而產生的一種新型驅動方式，彌補了機械傳動鏈存在反向間隙的不足，長期運行不磨損，精度保持性高，在新型高速高精密機床中得到廣泛運用，但其對負載慣量波動的適應能力較弱，在控制方法上還在不斷摸索發展。雙電動機電氣消隙傳動是隨著機床的大型化發展而來的一種新型傳動方式，可以做到超大直徑，在目前的大型車銑復合類機床中得到廣泛應用。雙蝸輪蝸桿消隙傳動繼承了蝸輪蝸桿副精密傳動的性能，彌補了蝸輪材質強度低對嚙合剛度帶來的影響。表2所示為轉臺驅動方案分析比較情況。

5）增加公示語翻譯的數量。通過調研，我們發現楚雄市漢語公示語英譯的數量還遠遠不夠，因此建議政府有關部門大力增加雙語公示語指示牌，尤其是在功能性建筑物上和彝族文化活動場所設立漢英彝三語公示牌，這樣不僅能夠更好地滿足國外受眾群的生活需求，而且也能促進城市文明和彝族文化的對外傳播和交流。

首先，工程成本管理不規范，資源浪費現象嚴重。公路工程在施工前一般會對項目成本進行預算，但是由于各個企業的技術人員缺乏成本管理的概念，對成本預算缺少有機控制，導致成本預算無法發揮作用，資源浪費現象嚴重增加成本投入。

2.大型轉臺回轉支承技術

（1）轉臺滾動軸承支承。轉臺支承精度對轉臺精度有較大影響。大型精密轉臺的支承方式主要有軸承和靜壓兩種。轉臺回轉精度主要取決于軸承回轉精度。應用于大型轉臺支承的軸承主要有交叉滾子軸承，推力、向心滾子軸承，推力角接觸球軸承及YRT軸承。推力、向心球軸承屬于復合軸承，能同時承受軸向載荷、徑向載荷及傾覆力矩，適于精密回轉工作臺和高速回轉工作臺。推力、向心滾子軸承和推力、向心球軸承結構類似，滾動體和軸承軌道之間為線接觸，適于承受大傾覆力矩，承載力高。交叉滾子軸承是這幾年發展起來的一種高精度支承軸承，采用圓柱滾子，相隔滾子軸線呈90°排列，一個軸承便能承受徑向負荷、軸向負荷及力矩負荷等所有方向的負荷。圖10所示為一款采用YRT軸承支承的轉臺結構示意圖。

（2）靜壓支承。隨著對機床承載、精度及運行平穩性要求的提高。靜壓支承摩擦系數小、機械效率高及剛度高，越來越多的大型轉臺選用靜壓支承。靜壓支承是將靜壓油通入導軌面，在導軌面之間建立起一層油膜，油膜處于層流狀態，具有良好的潤滑性及減摩吸振作用。其摩擦系數大約為0.000 5，是高度直線導軌的1/2，動靜摩擦系數更小，消除了大型轉臺的“爬行”現象。靜壓支承相比滑動導軌副和直線導軌副壽命更長、剛度更高，長期使用無磨損，運行更加平穩。圖11所示為靜壓軸承支承的轉臺結構示意圖。

（3）支承方案比較分析。轉臺支承主要起到承載、限位和導向的作用。轉臺軸承和靜壓支承在各類轉臺中都有廣泛應用。根據機床加工工藝特點，選擇合理的支承方案，在實現機床各項設計性能的前提下獲得高的性價比。表3所示為轉臺軸承和靜壓支承的技術特性比較。

圖9 雙電動機消隙原理

表2 轉臺驅動方案分析比較

比較項目 蝸輪蝸桿驅動 力矩電動機驅動 雙電動機電氣消隙驅動傳動鏈誤差有大周期誤差和小周期誤差，依賴蝸輪副加工精度轉子對定子磁場的跟隨精度，理論上同步依賴于齒輪副制造精度反向間隙 依賴消隙裝置 無 基本消除剛度 嚙合系數大，剛度足 取決于電氣特性 高負載慣量適應能力不敏感敏感，需要配置不同的控制參數進行慣量匹配不敏感平穩性 嚙合副重疊系數高，運行平穩 運行平穩 終端齒輪副齒廓精度影響較大應用場合 精密分度，精密數控機床精密分度，精密數控機床 大型機床

圖10 大型軸承支承的大型轉臺

圖11 靜壓軸承支承的大型轉臺

3.大型轉臺位置檢測方法比較

轉臺做回轉運動，要求高的角位移精度。角位移精度一方面取決于回轉運動傳動鏈的機械精度，另一方面則取決于控制精度。對于精度要求不高的應用場合常采用半閉環的控制方法，對位置的檢測通過驅動電動機編碼器間接獲取，其中包含了傳動副的制造誤差。對高精度轉臺，機械傳動鏈的誤差不容忽視，越來越多應用全閉環進行控制。通過對轉臺實際運動位置的檢測，識別出位置誤差，由控制系統控制驅動電動機進行位置糾正。對實際位置的準確檢測是實現全閉環的一項基礎前提。對大型轉臺角度位置進行檢測，常用的檢測元件有大型光柵尺、磁柵尺及鋼柵尺。

光柵尺是一種精密的光學測量元件，是在鋼基體或玻璃基體上采用光刻法精細刻線，利用干涉掃描原理將精細光柵的衍射和干涉形成位移信號實現對位置的檢測及反饋。光柵尺有直線尺和圓光柵尺，分別用于線性位置和角度位置的檢測。對于大型轉臺角位置的檢測常用模塊式光柵尺，結構簡單，轉臺結構的集成度高。目前海德漢開發的大型模塊式光柵尺最大直徑1 145.73mm。

磁柵尺通過錄磁頭在磁性尺上錄制出間隔嚴格相等的磁波，其工作原理是磁電轉換，磁波傳遞穩定，捕獲準確才能實現位置精度的準確檢測。空氣的磁阻較大，對磁波的損耗大，均勻的間隙是磁柵尺正常可靠工作的前提。

鋼柵尺是采用照相腐蝕刻制方法在鋼帶上刻制出的高精度柵格，讀數頭帶移動磁阻芯的變壓器工作原理，當讀數頭和測量尺之間沿測量方向有相對運動時，每組線圈的互感會周期性地改變，從而產生兩路相位相差90°的正弦信號，對信號進行處理實現對位置的檢測識別。

選擇合適的質控品,且科學應用,盡可能減少誤差,利于提高結果的精確性;同時,加強實驗室內質控,做好失控的相關準備工作。

角度位置檢測的準確性對系統控制精度影響很大，角度測量精度取決于測量尺質量，包括掃描質量、信號處理電路質量、光柵與軸承偏心量、軸承徑向圓跳動及光柵清潔度等。角度測量精度直接決定轉臺的定位精度，系統精度反映了一轉和單信號周期內的位置偏差，一轉內的位置偏差對大角度運動非常明顯，反映了累積精度。如表4所示，通過對常用的角度位置檢測元件進行分析比較，對大型高精度數控轉臺位置檢測，應采用圓光柵尺。

表3 轉臺軸承和靜壓支承的技術特性比較

比較項目 軸承支承 靜壓支承摩擦系數 0.001～0.003 0.000 5承載能力 滾子類高于球支承類，整體不及靜壓支承 高，可達到數百噸轉速 可以實現高轉速應用在中、低速，轉速過高離心力造成油膜不均，封油邊失效。易吸入空氣破壞靜壓層流發熱 油潤滑的溫升優于脂潤滑 有油膜攪拌發熱，一般靜壓油都進行恒溫冷卻控制低速性能低于10r/min，軸承處于低轉速區域，滾子和滾道之間難以形成潤滑油膜，運行阻力增大，易發生軌道擠壓形變低速性能優異，可以實現超低速運行附件 油潤滑時需要供油泵 需要一套靜壓系統，高精度時需配置恒溫冷卻系統對驅動的響應能力 低速時，動靜摩擦系數差異大，易發生爬行 靈敏度高主要應用 高速切削機床 大型及重型機床，精密機床

表4 大型轉臺位置檢測方法比較

對比項目 圓光柵尺 磁柵尺 鋼柵尺精度 高精度 一般精度 精密級分辨率 取決于刻線精度及細分信號處理取決于刻線精度及細分信號處理取決于刻線精度及細分信號處理抗干擾 有較強的抗電磁輻射能力碰觸磁性介質容易消磁對電磁輻射敏感抗污染能力 對油污，灰塵等污染物敏感，需要嚴格防護 對污染物不敏感 對污染物不敏感主要應用場合 高精度位置檢測，高精度數控機床 大型成套設備 精密數控機床

4.結語

通過對大型齒輪加工工藝分析，提出大型齒輪加工機床轉臺基本性能要求，對轉臺進行功能劃分，對大型轉臺研制涉及的關鍵技術進行論述。對比了目前應用廣泛的幾種蝸輪蝸桿傳動消隙技術，分析了各自的優劣；對力矩電動機直接驅動技術進行介紹，闡述了力矩電動機應用中的關鍵點；介紹了雙電動機驅動消隙技術原理，對消隙的實現方法及控制點進行了闡述；對比了幾種支承方式的優劣，最后對轉臺位置檢測進行介紹，討論了影響檢測精度的原因。為大型齒輪加工機床回轉工作臺研制提供理論支撐。

參考文獻：

[1] 董建峰，翁秀明，王昆，等.蝸輪蝸桿傳動技術在我國的新進展[J].機械設計與制造工程，2014（4）：78-81.

[2] 張磊樂，張德煒，盧志輝，等.雙導程圓柱蝸桿在設備改造中的應用[J].機械傳動，2015（9）：186-188.

[3] 楊朋濤.精密回轉工作臺的消隙研究[C].西安：西安理工大學，2011.

[4] 董龍治.新型消隙式OTT蝸桿傳動的研究[C].漢中：陜西理工學院，2011.

[5] Guo Yangkuan, Li Yu, et al.Comparative study of direct and indirect drive of high precision turntable [J]. optics and precision engineering,2004,12 (3): 292-295.

[6] 沈捷.直接驅動技術的新進展[J].世界制造技術與裝備市場，2005(1)：88-90.

[7] 王成元，王貴子，夏加寬.機床轉臺直接驅動力矩電機的轉矩優化設計[J].沈陽工業大學學報，2008（1）：6-10.

[8] 胡永兵，張鈞鵬.雙電機消隙原理與應用[J].科技創新與應用，2014（27） ：132.

[9] Yu Chunjian,Huang Xiaodiao,Fang Chen.Researchon damping and vibration characteristic of the larl'ano preeisionNC rotarγtable [J].Advanced Materials Research,2010(3): 97 -101 .

[10] 吳培堅，宋文同.數控轉臺支撐軸承的演變[J].制造技術與機床，2011，04（10）： 21-24.

[11] 周堃，熊萬里，呂浪.液體靜壓轉臺技術綜述[J].制造技術與機床，2011（4） ：22-25.

[12] 孫淵濤，楊建璽，崔鳳奎.大型直驅靜壓轉臺關鍵技術的分析與結構設計[J].機床與液壓，2014（13）：90-92.

[13] 朱沛，張大偉，黃元申.精密定位光柵尺的研究進展[J].激光雜志，2010，31（1）：1-3.